dressler電源維修 LFGS-1250C 射頻電源維修

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LFGS射頻發生器是用于半導體生產和一般等離子處理的多功能射頻發生器。此類可變頻率發生器采用了一種半橋、D類型放大器理念，是一種空冷式緊湊型的設計，可安裝在19英寸機架上面。應用包括濺射、等離子蝕刻、化學氣象沉積、聚合以及表面處理設備上。

維修范圍：刻蝕、RIE、平行板、ICP、pecvd、射頻濺射、CVD 和PVD等系統，工業系統中感應加熱和電介質加熱設備的電源，烘干、塑化、硅晶體生長和平板顯示器領域應用電源，直流偏壓和硬鍍膜，信息設備(ITE)及輕工業系統、鍍膜設備。 從事大功率射頻RF電源及匹配器維修，為太陽能光伏、半導體、液晶面板、鍍膜行業維修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP設備電源，包括直流、高壓、脈沖、微波、匹配器、RPSC、CHILLER射頻電源維修。