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        硅基氮化鋁AlN on Si

        產(chǎn)品名稱: AlN on Si
        直徑inch: 2、4 可定制
        基底材料: 500±10um
        單價(jià): 1000.00元/片
        發(fā)貨期限: 自買家付款之日起 天內(nèi)發(fā)貨
        所在地: 福建 廈門
        有效期至: 長(zhǎng)期有效
        發(fā)布時(shí)間: 2024-03-05 21:19
        最后更新: 2024-03-05 21:19
        瀏覽次數(shù): 390
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        硅基氮化鋁:

          @高質(zhì)量

          @大面積

          @低成本


          產(chǎn)品名稱

          AlN on Si

          基底材料(Substrate)

          500±10um Si(100)

          直徑(inch)

          2、4 可定制

          AlN外延厚度(Thickness)

          50~200nm

          晶面取向(Orientation)

          c-aixs [0001]

          表面粗糙度(nm)(5x5um)

          Ra < 1nm (200nm)

          HRXRD半高寬(°) @(0002)

          <1.5°

          總厚度變化(TTV)

         ?。?7um

          翹曲度(Warp)

         ?。?0um

          彎曲度(Bow)

          -10 ~15um

          包裝(Packaging)

          單片/多片晶圓盒


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