產(chǎn)品名稱: | AlN on Si |
直徑inch: | 2、4 可定制 |
基底材料: | 500±10um |
單價(jià): | 1000.00元/片 |
發(fā)貨期限: | 自買家付款之日起 天內(nèi)發(fā)貨 |
所在地: | 福建 廈門 |
有效期至: | 長(zhǎng)期有效 |
發(fā)布時(shí)間: | 2024-03-05 21:19 |
最后更新: | 2024-03-05 21:19 |
瀏覽次數(shù): | 390 |
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硅基氮化鋁:
@高質(zhì)量
@大面積
@低成本
產(chǎn)品名稱 | AlN on Si |
基底材料(Substrate) | 500±10um Si(100) |
直徑(inch) | 2、4 可定制 |
AlN外延厚度(Thickness) | 50~200nm |
晶面取向(Orientation) | c-aixs [0001] |
表面粗糙度(nm)(5x5um) | Ra < 1nm (200nm) |
HRXRD半高寬(°) @(0002) | <1.5° |
總厚度變化(TTV) | ?。?7um |
翹曲度(Warp) | ?。?0um |
彎曲度(Bow) | -10 ~15um |
包裝(Packaging) | 單片/多片晶圓盒 |