AE電源維修: | MKS射頻電源維修 |
ENI電源維修: | 賽恩電源維修 |
射頻電源維修: | 射頻電源售后中心 |
單價(jià): | 1500.00元/臺(tái) |
發(fā)貨期限: | 自買(mǎi)家付款之日起 天內(nèi)發(fā)貨 |
所在地: | 廣東 深圳 |
有效期至: | 長(zhǎng)期有效 |
發(fā)布時(shí)間: | 2023-12-21 04:01 |
最后更新: | 2023-12-21 04:01 |
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INSTRO英斯特朗5966試驗(yàn)機(jī)環(huán)境 HP12 3SY 3119-606維修
應(yīng)用對(duì)象包括:刻蝕、RIE、PECVD、ICP、射頻濺射、CVD和PVD等系統(tǒng),也可作為工廠業(yè)系統(tǒng)中感應(yīng)加熱和電介質(zhì)加熱設(shè)備的電源
CLX系列低頻電源、CLF系列低頻電源、CX系列高頻電源、CX5K和CX10K高頻射頻功率源、CXH系列高功率/高頻電源、CPS系列高頻電源、CB系列高頻射頻電源、CV系列甚頻(VHF)電源、CDX系列雙頻電源、XDC1000直流電源、MATCH自動(dòng)調(diào)諧網(wǎng)絡(luò)、ESC系列靜電夾盤(pán)電源CDX 1000 - P/N FP5201R1/CDX 2000 - P/N FP5315RF/CDX 2000 - P/N FP5318R2/CDX 2000 - P/N FP5319R2/CDX 2000 - P/N FP5320R3/CLF 500 - P/N FP1254R2/CLF 1000 - P/N FP1252R2/CLF 5000 - P/N FP1541RC/CLX 600 - P/N FP1245R1/CLX 2500 - P/N FP1333R2/CLX 2500 - P/N FP1335R2/CLX 2500 - P/N FP1335R4/CLX 2500 - P/N FP1336R3/CPS 500 - P/N FP0112RF/CPS 500AS - P/N FP0113RK/CPS 1000 - P/N FP0213RK/CPS 1001 - P/N FP0213RJ/CX 650 - P/N FP3116R3/CX1250S - P/N FP3212RB/CX 1250S - P/N FP3212RC/AGA-27 60Mhz 2,7kW - P/N/AGA-27A3/ENI / MKS/DPGS-10 - DC / RF Generator - P/N DPGS-10-04/DPGS-10 - DC / RF Generator - P/N DPGS-10-05/DPGD-10 - DC /RF Generator - P/N DPGD-10-04/DPGD-10 - DC /RF Generator - P/N DPGD-10-05