單價: | 500000.00元/臺 |
發貨期限: | 自買家付款之日起 天內發貨 |
所在地: | 廣東 深圳 |
有效期至: | 長期有效 |
發布時間: | 2023-12-15 04:31 |
最后更新: | 2023-12-15 04:31 |
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智能碳化硅清洗設備生產線為: 晶舟上貨,將晶舟置于上貨區位置,按下啟動鍵,將自動以夾持方式移至制程槽進行預設之制程,完成設備本身設定之流程,達成一貫性自動控制的功能。本設備電器控制部分關鍵件均采用進口優質件,性能可靠,使用壽命長;及背部設有吸風口,為防止污染空氣,用戶需外接風管抽風。本機臺是IPC工業電腦加PLC控制的全自動控制系統。
智能碳化硅清洗設備特點:
溢流工藝的應用,保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度;
優化配管設置,節約DIW消耗量;
工藝柔性化設計,工藝更改方便迅速;多工藝數據庫,可供用戶使用和存儲;
整機在使用、運行過程中平穩、可靠、不產塵、無溢出油污等,需潤滑的零件必須密封處理;
智能碳化硅清洗設備PLC控制,IPC顯示,清洗槽定溫控制,過溫保護及超(兆)聲低液位保護;
全封閉設計。設備運行峰值噪音小且操作、維護和維修方便;
耐酸堿溶液及揮發氣體的腐蝕,電器元件正常安全使用;
設有緊急停止回路(EMO急停按鈕,設備兩端各一個),并按照標準設置接地保護斷路器;
智能碳化硅清洗設備前后區隔離,底板傾斜設計,便于排液,低處設有漏液報警,前后區域均設水槍,確保漏液及時沖洗;
清洗槽體及管路配有明顯標識或防錯設計,防止溶劑混用;
設計合理化的排風管路,使有機液揮發氣體的污染小化;
內部輸水、輸氣管道管線布置于主體設備內部;
廢水按照高氟、低氟、酸堿、酸堿含醇四類排放;
智能碳化硅清洗設備內廢氣總管路可用維護區水槍清洗,清洗廢液流入有機、酸堿廢液總管;
工藝溢流槽體都需具有外槽獨立溢流方式,需采用四面溢流;如果無法實現,至少需要三面溢流;
后方、左右兩側需留有方便維護、維修的窗口;
機臺排風口處安裝排風壓力監測裝置(帶信號報警裝置);
智能碳化硅清洗設備總進口處(N2或CDA)安裝有壓力監測裝置(帶信號報警裝置);
工藝槽槽體傾斜式,便于排空;
電器部分具備正壓N2保護,防止腐蝕;
溢流:IDLE TIME>SET TIME,溢流停止,達到節能目的;
智能碳化硅清洗設備廢液排放,每個工藝槽采用獨立排放管道,對應QDR也采用獨立排放口;
排風,工藝腔內每個工藝槽對應位置都有可調節的柵格排風結構;
換液提醒功能,所有制程能根據配液時間或運行批次數量通知換酸;
工藝結束可以設置預先報警功能,預報警聲音和實際報警聲音要有所區分;
智能碳化硅清洗設備工藝說明: 自動傳動,自動方式實現槽體間傳送工件,手臂按照菜單選擇流程作業,生產部人員選取菜單進行作業,這個過程全自動進行;
全程自動化控制,工藝過程中沒有人工干預,保證產品性能的一致性;
機械手的橫向移動和縱向提升均采用日本伺服馬達,閉環控制,定位精度≤1mm,可靠性高;采用雙導軌結構及線性模塊傳動,幾何曲線加減速運動,沖擊小、運動平穩;
智能碳化硅清洗設備機械手臂單獨急停、暫停開關、系統急停開關和機械手馬達電機自動過載保護等多重保護,確保操作者的安全;
機械手臂設有防夾防撞預警裝置(光電傳感器、機械傳感器、機械裝置等),以保護操作人員安全;
上下料方向:左進右出,花籃水平放置;
顆粒指標,尺寸大于XX μm的顆粒,密度不超過XX個/cm2;
智能碳化硅清洗設備目前金屬離子殘留測試,包括XX種元素:每一種金屬元素殘留指標均要求