CDG160D加熱型電容膜片真空計(jì)

CDG160D加熱型電容膜片真空計(jì)

INFICON SKY CDG160D,CDG200D 高溫壓力計(jì)是實(shí)現(xiàn)**總壓測(cè)量與控制的理想之選。CDG160D真空計(jì)溫度控制在 160 °C，CDG200D 真空計(jì)溫度控制在 200 °C，適用于苛刻的半導(dǎo)體和等離子過(guò)程。在 1 Torr 至 1000 Torr 滿刻度范圍內(nèi)均可使用，帶有所有常用類型的法蘭和現(xiàn)場(chǎng)總線接口，能夠提供 0 至 10 V、不受氣體類型限制的對(duì)數(shù)壓力信號(hào)。INFICON 電容式壓力計(jì)采用超純氧化鋁陶瓷隔膜，具有防腐蝕性。陶瓷傳感器具有信號(hào)穩(wěn)定性更佳、從大氣恢復(fù)的速度更快、預(yù)熱時(shí)間短和使用壽命長(zhǎng)等諸多優(yōu)勢(shì)。INFICON CDG 壓力傳感器品質(zhì)卓越，極具成本效益，適用于苛刻的半導(dǎo)體、等離子和真空應(yīng)用。

特點(diǎn)

擁有成本更低，預(yù)熱速度快 50%，節(jié)能，低功耗

易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標(biāo)配兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)

輕松一鍵歸零或遠(yuǎn)程信號(hào)歸零指令，可調(diào)零點(diǎn)偏移

診斷端口便于快速服務(wù)與維護(hù)

兩年保修服務(wù)、加熱概念和真空計(jì)保護(hù)延長(zhǎng)了使用壽命

卓越的信號(hào)穩(wěn)定性和可重復(fù)性，是非常嚴(yán)苛的等離子應(yīng)用，都無(wú)需長(zhǎng)期執(zhí)行重新校準(zhǔn)

合規(guī)和標(biāo)準(zhǔn)：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

應(yīng)用

蝕刻、CVD、PVD 及其他半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程

化學(xué)和腐蝕性高溫過(guò)程

需要真空計(jì)保護(hù)的一般薄膜和真空過(guò)程

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