全方位安裝 ■輕巧設計 ■節(jié)能 ■分子泵停止與啟動時間短 ■附帶維護警報機能 ■低振動 ■無需調(diào)整 ■自動校準 ■可控制轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)速度 ■大流量排氣 ■多種通信模式 ■符合安全規(guī)格 NRTL/SEMI-S2/CE用途?半導體制造?電子槍排氣，離子源排氣?FPD制造?表面處理，表面改質(zhì)?各種電子部件的制造?分析，試驗裝置?管球制造，光學部件制造?加速器，放射線設施，核聚變研究?熱處理?研究開發(fā)規(guī)格外觀尺寸表性能曲線控制器吸氣口法蘭VG150CF160ISO-B160排氣速度N2 (L/s)900N2(附加金屬保護網(wǎng)) (L/s)860H2 (L/s)1050大壓縮比N21×108 H21.5×104 極限壓力VG?ISO-B/CF (Pa)
