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吸氣劑泵它是一種利用吸氣劑以化學結合方式捕獲氣體的真空泵。
吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。
升華泵即屬于這種型式。
吸氣劑離子泵它是使被電離的氣體通過電磁場或電場的作用吸附在有吸氣材料的表面上，以達到抽氣的目的。
它有如下幾種型式。
蒸發離子泵：泵內被電離的氣體吸附在以間斷或連續方式升華（或蒸發）而覆在泵內壁的吸氣材料上，以實現抽氣的一種真空泵。
濺射離子泵：泵內被電離的氣體吸附在由陰極連續濺射散出來的吸氣材料上，以實現抽氣目的的一種真空泵。
