排氣速度 50L?min、230L?min、500L?min 3種產品■ 極限壓力 DSP50：20Pa、DSP250 ? 500：0.5Pa■ 潔凈排氣 沒有油蒸氣，粒子的逆流■ 無潤滑油 無同步齒輪，也不需要潤滑油■ 攜帶方便 小型，輕量，抗外部干擾■ 空冷規格 不需要冷卻水■ 初期排氣時間短 大氣壓附近排氣速度快■ 節能 低消費電力設計用途?SEM，光刻?醫療設備?裝載室，搬送室排氣?分析儀器?加速器，離子源，電子槍的排氣?一般產業?PVD ?R&D規格外觀尺寸表性能曲線型 號DSP50DSP250DSP500排氣速度(L/min)大50230500開放氣鎮時36200430極限壓力(Pa)通常200.5開放氣鎮時2002.0連接形式吸氣口KF16KF25KF40排氣口Rc1KF25所需電力(W)極限壓力時大380600電源電壓（V）頻率（Hz）50/60相數單相容許變動電壓±10%冷卻方式空冷重量（kg）91520
