排氣速度 50L?min、230L?min、500L?min 3種產(chǎn)品■ 極限壓力 DSP50：20Pa、DSP250 ? 500：0.5Pa■ 潔凈排氣 沒有油蒸氣，粒子的逆流■ 無潤(rùn)滑油 無同步齒輪，也不需要潤(rùn)滑油■ 攜帶方便 小型，輕量，抗外部干擾■ 空冷規(guī)格 不需要冷卻水■ 初期排氣時(shí)間短 大氣壓附近排氣速度快■ 節(jié)能 低消費(fèi)電力設(shè)計(jì)用途?SEM，光刻?醫(yī)療設(shè)備?裝載室，搬送室排氣?分析儀器?加速器，離子源，電子槍的排氣?一般產(chǎn)業(yè)?PVD ?R&D規(guī)格外觀尺寸表性能曲線型 號(hào)DSP50DSP250DSP500排氣速度(L/min)大50230500開放氣鎮(zhèn)時(shí)36200430極限壓力(Pa)通常200.5開放氣鎮(zhèn)時(shí)2002.0連接形式吸氣口KF16KF25KF40排氣口Rc1KF25所需電力(W)極限壓力時(shí)大380600電源電壓（V）頻率（Hz）50/60相數(shù)單相容許變動(dòng)電壓±10%冷卻方式空冷重量（kg）91520
